顶旭微控技术(图)-桌面光刻机企业-四川桌面光刻机

SU8模具加工平台旨在为SU8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案,该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机,四川桌面光刻机,体积小巧,采用LED光源,曝光分辨率可达2um,曝光均匀性大于90%,可实现微纳结构的精细制备;匀胶机,转速稳定性为±0.5%,转速达10000转,可确保光刻胶均匀涂敷,提高一致性;热板,桌面光刻机怎么样,温度稳定性±1%,可为SU8模具提供充分的烘烤,从而提升SU8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台,设备体积庞大,环境要求严苛,SU8模具加工平台适应性强,光刻机占地面积小,普通实验室也可轻松部署。SU8模具加工平台,有利于客户快速实现芯片制备,为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。






SU8模具制备流程


一、备片

从化学品存放区取出清洁的硅片(确保硅片表面无尘)。







匀胶

1)打开匀胶机,将硅片放置在匀胶机托盘上,打开真空开关,确保硅片固定在托盘上不动;








将SU8光刻胶滴在硅片中间,根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。(举例说明:目标胶厚度50um,光刻胶型号:SU8-2075,桌面光刻机企业,1段500转8s,2段1800转30s)










匀胶机的报价会受到多种因素的影响,包括品牌、型号、功能、材料、生产成本、市场竞争等。一般来说,价格较高的匀胶机通常具有更的功能和更高质量的材料,而价格较低的匀胶机则可能具有更简单的基本功能和较低的生产成本。此外,桌面光刻机设计,市场竞争也会影响匀胶机的价格,如果市场上有较多的供应商,价格可能会下降,反之亦然。因此,要想准确地报价,需要考虑以上因素,并根据实际情况进行综合评估。




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