气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用

真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，气体流量计多少钱，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。

热式气体质量流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。

质量流量控制器

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，定量流量计多少钱，经历成膜过程，形成薄膜。

质量流量控制器用在哪些地方？

气体质量流量计和控制器能用来测量单一气体的结构，紧凑的气体质量流量计和控制器能用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组。主要的技术优点：基于热式毛细管技术，模块化的设计；极其紧凑的尺寸；高精度，线性和重复性稳定；快速响应时间；多种气体/多量程范围可选。

氦气，是一种稀有气体，化学式为He，电子气体流量计多少钱，因现在氦气在各行业中的广泛使用，因此控制气体的流量与大小，河北流量计多少钱，在节能减排、控制成本方面有重大意义。热式气体质量流量控制器为一款高精度的气体控制设备，能很好的控制气体的进气质量，气体流量的大小也不受温度和压力的变化影响，是一款稳定的气体质量流量控制仪器。

氦气为无色无味的惰性气体，化学性质不活泼，一般状态下很难和其他物质发生反应。一般用在以下行业中：

1、氦气可作为燃料的压送剂和增压剂。

2、氦用作冶炼及焊接时的保护气体，这在钢铁冶炼等行业的制造方面非常重要。

3、氦气有优良的渗透性， 用于一些管道及电子和电气装置等的检漏和气密性测试中。

4、氦气是具有理想气体性质的气体，是极低温度下蒸气压温度计的理想用气。

5、氦气的质量密度、重量密度都低，可用来填充灯泡、霓虹灯管，也是理想的气球及飞艇用气。

6、氦气惰性气体的一种，可将氦气与氧气混合，作为呼吸用气体。

热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量，用户一般使用的气源气体浓度为999，有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时，是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗？低浓度的气体流经和通过流量计的时候，是否需要注意哪些问题呢？以及对气体的浓度有什么影响吗？

流量控制器

紧凑而坚固的仪器设计，为连续质量流量测量确保了重复性，用途非常广泛，可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响，即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质，稳定性好，接触各种气体时很少会发生反应，故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时，用户在订货时需特殊说明一下，本公司会根据实际使用，来选择相对应的密封材质，从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体，在通过流量计的时候，也是不会有吸附或干扰性的。

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