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普发Pfeiffer adixen ATH 1603M磁悬浮分子泵维修

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涡轮分子泵 HiPace 1500 对各种气体的具有高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2， He) 和大分子量气体 (Ar， CF4) 都有很高的抽速.

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Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成，正常运行3-4年建议做一次标准保养

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