抛光机的部件是等离子体源，它的参数设置会直接影响抛光的效果。例如，功率密度的变化会导致等离子体源的温度变化，从而影响等离子体中的粒子浓度和能量分布。因此，在操作抛光机时，需要关注等离子体源的参数设置，确保其稳定性和可靠性，以获得高质量的抛光效果。抛光机中的气体流量对抛光质量也有很大的影响。气体流量的不足或过多都会影响等离子体的稳定性和抛光效果。因此，在操作抛光机时，需要根据不同的抛光材料和工艺参数调整气体流量，以达到的抛光效果。

超声波抛光是利用工具诺面作超声频振动，通过磨料浮液抛光脆硬材料的一种加工方法。加工时，在抛光区加入带有磨料的工作液，并使抛光工具对工件保持一定的静压力(3~5N)，推动抛光工具作平行于工件表面的往复运动，运动频率为每分钟10~30次超声换能器产生16 000Hz以上的超声频纵向振动，并借助于变幅杆把振幅放大到10 ~ 20m左右，驱动地光工具端面作超声振动，迫使工作液悬浮的磨粒以很大的速度和加速度不断撞击、磨削被加工表面，把加工区域的材料粉碎成很细的微粒，并从材料上打击下来。虽然每次打击下来的材料很少，但由于每秒钟打击次数多达16 000次以上，所以仍有一定的加工速度。与此同时，工作液受到工具端面超声振动作用而产生的高频、交变的液压正负冲击波和“空化”作用，促使工作液钻入被加工材料的微裂纹处，加剧了机械破坏作用。所谓空化作用，是指当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙内形成负压和局部真空，在工作液体内形成很多气穴当工具端面以很大的加速度接近工件表面时，气泡，引起极强的液压冲击波，在振动面和相对应的加工表面上引起气蚀，气蚀有两个作用:，当因气穴所产生的气泡时，在一瞬间，周围介质受到很大冲击力，就用这个力在工件表面上产生微小的机械蚀除效果，第二，由于磨料对表面的冲击和气蚀引起的显微裂纹，在随后的瞬时由气穴吸引作用把细微屑末从工件表面剥下来。由此可见，超声空化作用可以强化加工过程。此外，正负交变的液压冲击也使悬浮工作液在加工间隙中强迫循环，使变钝的磨粒及时得到更新，切屑能够及时地排除。超声振动使工具具有自刃性，能防止磨具气孔堵塞，提高了磨削性能。变的液压冲击也使悬浮工作液在加工间隙中强迫循环，使变钝的磨粒及时得到更新，切屑能够及时地排除。超声振动使工具具有自刃性，能防止磨具气孔堵塞，提高了磨削性能。

随着半导体工艺的不断发展，对半导体表面平整度和光泽度的要求越来越高，传统的机械抛光技术已经不能满足需求。抛光机作为一种新兴的表面处理技术，具有、、无污染等优点，在半导体行业中的应用前景广阔。抛光机不仅可以用于晶圆的表面抛光和去除氧化物，还可以用于半导体器件的表面平整化和去除残留物等方面，具有重要的应用价值。