表面粗糙度仪的测量方法基本上可分为接触式测量和非接触式测量两类。其中，触针式表面粗糙度测量仪是、、的表面粗糙度测量仪，并且一直是各国及制定的依据。

此外，表面粗糙度仪还可以根据传感器的不同原理分为电感式、压电式、光电式、激光式和光栅式等，还可以分为有导头式和无导头式。在软件处理部分，主要有两个模块，分别是数据处理模块和文件处理模块。

电感传感器是轮廓仪的主要部件之一，在传感器测杆的一端装有金刚石触针，触针曲率半径很小，测量时将触针搭在工件上，与被测表面垂直接触，利用驱动器以一定的速度拖动传感 器。由于被测表面轮廓峰谷起伏，触状在被测表面滑行时，将产生上下移动。此运动经支点使磁芯同步地 上下运动，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化。

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