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怎么对高纯氦气来进行置换呢,这点也是很多人心里的疑惑,需要做但是却不敢做,接下来的话就带大家来了解一下吧。

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求高纯氦气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氦气置换,再用高纯氦置换。

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在化学上高纯氦气与不同化学成分的反应有哪些?下面随着我一起来了解一下吧,希望下面的信息可以给你带来帮助!

高纯氮气 分子中三键键能很大,不容易被破坏,因此其化学性质十分稳定,只有在高温高压并有催化剂存在的条件下,氮气可以和氢气反应生成氨。

高纯氮气 反应

在放电条件下,高纯氮气 才可以和氧气化合生成一氧化氮:N2+O2=放电=2NO

一氧化氮与氧气迅速化合,生成二氧化氮2NO+O2=2NO2

二氧化氮溶于水,一氧化氮3NO2+H2O=2HNO3+NO

五氧化二氮溶于水,N2O5+H2O=2HNO3

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高纯氦气的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色,特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业,凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业,皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程,其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的高纯氦气,而高纯氦气的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响,气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

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