高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同。

例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；

而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；

对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。

高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。

 

混合气体的气瓶，内表面决不能采用高分子材料处理。根据研究验证，无论何种高分子材料，乙烯生产，都有一定量的有提物释放，这些碳氢化合是IC制造“有害”杂质尤其是在夏季，释放会加剧。目前国内许多事旧气瓶，乙烯供应，由于内表的处理没有清晰的标识，若再使用充装类似 N02 等强氧化气体，应引起注意，否则会出现严重的安全方面的事故。

 此外，原料气体的纯度也是影响气体准度的重要因素。目前市场竞争十分激烈，对于液化压缩气体，由于存在气液两相，组分尤其是较轻的组分，会随温度的变化而变化，应经常测定其浓度。必要时使用前多次置换吹扫系统，达到降低轻组分含量的目的，如高纯、C02 气体长期不用，若质量不好，气相中CH4 、N2、02 、CO含量飙升，可以通过小流量的放空处理解决，乙烯厂家，而对于较重的组分，建议留10%-20%的瓶底。

因为六氟化硫sf6高压电器设备的内部气体湿度是经由人为来进行操控的，这也导致设备内部的气体含水量比较低。内部的水蒸汽气压低，乙烯，但大气中水蒸汽气压却相对很高。在这样的高温又高湿的条件之下，水分子便会自动从高压区往低压区进行渗透。外界的气温越高且相对湿度越大，那么内外水蒸汽的气压差也就会越大，从而也导致了大气中的水分透过设备的密封薄弱环节进入到设备的可能性也就越大。因为六氟化硫的分子直径为4.56×10-10m，水分子的直径为3.2×10-6m，六氟化硫分子为球状，水分子是细长棒状，那么在内部外部水分气压差比较大的时候，水分子便易于进到六氟化硫的设备的内部。

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