氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，电堆，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，金属双极板，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

差压气密性检测方式：也叫比较法，需要一个标准无泄漏的产品(或者工件内部容积与检测产品容积相差不大的密封罐体)。 原理在密闭的待测品内通入一定压力的气体，同时在一个标准品内通入同样压力的气体，静止一段时间，观察标准罐体内 的压力与工件内的压力差从而判定产品是否泄漏。此气密性检测仪检测方式检测精度高，但是通用性不强，需要两个工装， 检测成本与压降型相对高一倍。

选择气密性检测设备的几点依据:

1、进口的气密性检测设备与国产的相比，质量不错，但是价格高，板，是国产的好几倍。国产气密性检测设备鱼龙混杂，高l端的国产业与进口相当，具体的要根据检测产品、检测要求及公司预算选择。

2、分辨率高低。简单的说就是检测数值的精l确位数，如1Pa或0.1pa。分辨率的单位有很多，如Pa、ml/min等。根据自己产品测试要求选择。

3、压力测试。根据待检工件的检测要求，先确定测试压力，比如是真空检测还是正压，正压是微压、中压或是高压。选择满足检测压力范围的气密性

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