Alcatel分子泵定期保养-广州潽拓光电公司





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滑阀真空泵工作原理:

另一种典形的旋转真空泵为滑阀真空泵,泵壳内装一偏心的转子。转子上有若干槽,槽内有可以滑动的滑片。转子转地槽内的滑片向四周伸出,天河区Alcatel分子泵,不与泵壳接触。气体于滑片与泵壳所包围的空间扩大的一侧吸入,于二者所包围的空间缩小的它侧排出。滑片真空泵所产生的低压可达0.06Pa。相比旋片真空泵运行更加稳定,耐用性更强。阿尔卡特进口泵维修


分子筛的吸附特性分子筛对于 H,ONHHSCO等性分子具有很高的亲和力,特别是对于水,即使在低分压力或低浓度、高温等十分苛刻的条件下,仍有很高的吸附容量。另外,与其它吸附剂相比,分子筛还有良好的热稳定性,吸附量饱和后可经加热处理使之恢复吸附能力。阿尔卡特进口泵维修


试验表明,分子筛在10Pa下的空气中,Alcatel分子泵维修哪家好,在700C 下加热 6h,其晶体结构可以无变化。但是,在 800C下加热不到 2h,分子筛便重新结晶而形成一种象白硅石般的结构。因此,必须强调指出,在应用分子筛时,其温度不能超过 600C。阿尔卡特进口泵维修

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半导体器件的生产制造工艺极其复杂,需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作,例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护 



罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器,用于真空泵的噪声治理。分子泵养护



转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作,可采取更有效的冷却方法,即将转子用循环油冷却,在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入,经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外,还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好,泵在运转时转子温度低于外壳温度,大泵常采用这种方式。 分子泵维修,例如在80Torr压差下工作时,罗茨真空泵转子温度较外壳低78度,同时还发现泵负荷越重时,则间隙越大,这是因为转子用油冷却,温度比壳体低,负荷越大,壳体膨胀越厉害,轴间距加大,所以间隙会增大。

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真空泵用的行业比较多,如医院里的消毒柜、啤酒行业、罐装饮料等地方。真空泵的形式比较多,一种是水环泵(以水位介质循环的),另外一种是干泵,像螺杆泵、罗茨泵。水环泵也叫粗泵,因为它对介质的要求比较广泛一些。像螺杆真空泵、罗茨泵,Alcatel分子泵控制器报警,在电子行业用的比较多。阿尔卡特真空泵维修



分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。半导体的各种生产工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,因此对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。在半导体生产制造工艺中,Alcatel分子泵定期保养,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备等。阿尔卡特真空泵维修



众所周知,腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的,温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。

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