其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊断、医i药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,其应用范围也越来越广泛。在国民经济高速发展及下游i行业的强劲需求下,我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段,年均增速达到17%以上。2011年,国内特种气体行业产值规模为296.88亿元,较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元,较上年增长21.64%,详《中国特种气体行业产销需求与投资预测分析报告》。
(D2)
包装:采用44L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到2-8L的气瓶中。
用途:在半导体、平板显示器、太阳能电池等电子行业在硅烧结或退火工艺中置换氢;应用于核子融合反应。
理化性质: D2是普通氢较重的稳定同位素。它是无色、无味、无毒的可燃气体。其沸点为-249.5℃。与分子氢一样,双原子D2分子也存在正、仲同分异构现象。室温下,D2正-仲异构体混合物的平衡组成为2:1,宁波特种气体,这种D2称为常态D2。降低温度,有利于向正D2转化。在20.4K时,特种气体公司,平衡混合物含正D297.8%,此时的D2称为平衡D2。
注意事项:
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃,相对湿度不超过80%。应与氧化剂、卤素分开存放,切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。
密闭操作,特种气体销售,加强通风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员穿防静电工作服。远离火种、热源,工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、卤素接触。在传送过程中,钢瓶和容器必须接地和跨接,防止产生静电。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
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