检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，电力行业检漏设备，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。

氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；

氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；

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