在反射模式将白色的纸放置在光具(底片)之下，介于光具透明和不透明范围之间，以提高其对比度。经过交替的变换达到或接近所使用的标准的AOI系统。这种方法不是通用的的，更多的倾向是由于微小的划伤，才会出现假的缺陷报告。另外:容易产生错误的是由于光具表面银粒子无光泽，再通过AOI的反射模式，特别是焦点不是在光具银乳胶膜上，双目视觉检测，就很容易出现假的读出。而表面无光泽的粒子致使真空度下降。这些粒子是甲1基丙1烯酸树脂，直径大约7微米，它能够使光发出散光。

自动光学检测用于非传统微孔加工表面质量检查：

这些加工程序的制作工艺是不连续的，而且是“并行的加工过程，即在并行模式形成单层，zui后工序就是通过压制合在一起。这样加工的做出势，双目视觉检测设备，就是加工的用的时间短，减少加工步骤，但要知道层的质量好坏，必须在层压前进行检查。

经过加工的金属经过微蚀所看到的是不同的，有原有的铜或电镀铜.在Z轴互连结构应该是铜或银膏(在ALIVH或B'it 等积层工艺用的方法即导电膏) ，或铜表面经过腐蚀液的冲击和金属层经过处理的双面( ALIVH)目的以改善粘结强度，但用反射模式的AOI机检查更为困难。

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