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⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

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真空冷冻干燥真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。真空蒸镀在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。真空干燥利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。真空系统常用名称①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

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与叶片泵相比较，螺旋泵具有以下优点：①转速低(一般为20r/min～90r/min)，机械磨损小，漳州Baumer测距传感器，不会发生汽蚀。②流道宽，可以输送含有固体物的水。③泵体结构是半开的，可以观察到泵内的运行情况。④吸入侧流态对水力性能影响甚微，对吸水池无特殊要求，基础开挖深度小，水工建筑物施工简单，土建费用少。

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