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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。当当前级压力升至1Pa时,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无法正常工作




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  涡旋泵的气体在由涡旋转子和涡旋定子组成的月牙腔内压缩,涡旋定子固定在机架的周边上,在涡旋定子的周边上开设有吸气口,在转子和定子涡旋体中心部位开设有排气口。涡旋转子随着曲轴的回转以偏心量r为半径绕定子中心做公转运动。涡旋转子还受防自转机构的约束,不能自转,始终保持着一种固定的姿态,其中心绕涡旋定子中心作半径为r的圆周运动。




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