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②干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，SICK位移传感器，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。

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其缺点是：①尺寸大，占地面积也大。②受机械加工条件限制，泵轴不能太长，因而扬程较低，一般不超过10m。③吸水面、出水面高度变化不能太大，否则会影响工作效率，增加能耗。 [3] 分类编辑 播报螺杆泵按螺杆数量分为。单螺杆泵——单根螺杆在泵体的内螺纹槽中啮合转动的泵。双螺杆泵——由两个螺杆相互啮合输送液体的泵。三螺杆泵——由多个螺杆相互啮合输送液体的泵。 [4]

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极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp=Q/（P－P0）冷阱（水冷挡板）置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。

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