搭配Probe card测试适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品电动型chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）X，Y电动移动行程300mm x 300mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数8～12颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“材质：花岗岩台面+不锈钢可搭配Probe card测试

本系统实现多张测量板同步测量，测量板可以任意对应一张扫描板或者对应多张扫描板，应用灵活。

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由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。x-y工作台的维护与保养无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作台都是其的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文仅对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。




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