其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,特种气体压缩机,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
在国民经济高速发展及下游i行业的强劲需求下,我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段,年均增速达到17%以上。2011年,国内特种气体行业产值规模为296.88亿元,较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元,较上年增长21.64%。预计2012年特种气体行业销售规模将达360亿元,2012-2015年复合增长率有望保持10.3%。
据统计,目前,昆山特种气体,我国共有特种气体生产企业150余家,但多数企业生产规模较小。而跨国企业通过在国内投资设立众多合资或独资的气体公司,其市场份额已经占到国内销售气体产品市场份额的70%左右,占据着行业的主导地位。2010年,德国德林公司i、法国液化空气集团、美国普莱克斯集团等设立的独资和合资企业以32.38%的企业数量占据着国内特种气体市场65.90%的销售和83.08%的利润。2011年,外资企业的市场竞争优势进一步上升,其销售收入和利润分别占中国市场总额的67.47%和86.44%。
标准气体的制备过程
无论是采用压力法,体积法或称量法制备瓶装标准气体, 均需通过下列过程实现。充装----滚动混匀----分析检测----给出量值(检验报告或标准物质证书)。通过压力法/体积法或称量法实现混合气体充装已不再是难题, 只要具备的压力表和的天平、充装是很容易实现的。如何使标准气体量值准确和有效, 是所有标准气体制造商和研究机构面临的任务。
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