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将电子束对准于样品切片发射，穿透过的电子再用透镜投影于底片或电荷耦合元件。扫描电子显微镜用聚焦的电子束扫描过样品，就好像在显示机内的光栅扫描。这两种电子显微镜的放大率可从100倍到1 000 000倍甚至更高。应用隧穿效应

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总体分解成相互关联的若干成为一门综合计算机与信息技术、自动控制技术、传感检测技术、伺服传动技术和机械技术等交叉的系统技术，正向光机电一体化技术（Opto-mechatronics）（Opto-mechatronics）（Opto-mechatronics）方向发展，应用范围愈来愈广。

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技术使用电子束来照射物质。这样，可以改变物质的物理性质或灭除物品和食品所含有的微生物。做为线疗法的一种，直线型。制备的电子束，被用来照射浅表性。由于在被吸收之前，电子束只会穿透有限的深度

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