SU8模具制备流程

1.后烘

将曝光后的硅片放置在热板上，进行后曝光烘烤，以确保光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min）

2.显影

将硅片放入显影剂中，微流控光刻机优势，使未曝光部分的光刻胶溶解，微流控光刻机设计，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

3.清洗

将显影后的硅片用异丙chun溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

4.检查

使用显微镜检查制备的SU-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和质量。

顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案

桌面光刻机

曝光光源：紫外LED光源波长：365nm;曝光面积：4英寸、6英寸可选；曝光方式：单面接触式定时曝光；曝光分辨率：2um；曝光强度：20~200mW/cm2可调；曝光不均匀性：≤5%；光源平行性：≤2°；光源寿命：≥20000h；电源输入：AC220V±10V，50HZ功率：250W重量：25kg外形尺寸：382（长）*371（宽）*435（高）工作环境：温度0℃-40 ℃，天津微流控光刻机，相对湿度＜80 %

日常维护

1、定期清理平行曝光机的载台，微流控光刻机，防止它们因积尘或灰尘而影响加工。

2、保持曝光机的表面清洁，防止灰尘和杂质进入设备内部。

微流控芯片加工设备： 提供丰富多样的微流控芯片加工设备，涵盖SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作，从而提高实验效率和灵活性。

微流控光刻机-天津微流控光刻机-顶旭微控技术由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。顶旭（苏州）微控技术有限公司位于苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前顶旭在生物制品中享有良好的声誉。顶旭取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。顶旭全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。