灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，环氧乙1烷可杀灭细1菌（及其内孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求。

   特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体，其中常用的有20～30 种。工业上，特种气体销售，把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多，特种气体价格，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大，特种气体供应商，但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小，但根据不同的用途。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，福州特种气体，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。

 对特气的危害性进行分析，通过本质安全设计，消除安全隐患。根据行业规范，对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏，确保系统密闭性。特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。工业上，把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小，但根据不同的用途。

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