流量控制单元(FSCU)
FSCU(Flow System Control Unit)是北京晓韬科技有限公司技术团队针对各大高校、科研院所的不同研究方向,为其量身打造的气体、液体流量控制系统单元,目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关领域。
FSCU可通过触摸屏、PLC、PC软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器(如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌)及电磁截止阀开关,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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流体系统
流体系统是与具体实际管网模型相对应的流动元件集合,各个流动元件都有实际的物理模型与之相对应。流体介质是流体系统中的流动物质,流体介质的状态和属性直接影响流体系统对流体介质的输运能力、热传导能力及其流体的作功能力。流体系统是由各种流动元件相互连接而成,流动元件包括流体存储元件、流体单向输运元件、流体多向输运元件。流体单向输运元件只有一个进口和一个出口,如各种管道、流体增压泵、气体压缩机等。流体多向输运元件主要用于分流和汇流,如三通接头、四通接头以及引射泵等。流体存储元件一般有流体体积或质量, 有一个或多个单向输运元件与之相连,其流量既可能流进,流体系统控制单元,也可能流出。
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体积流量的表示方法
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位,流体系统控制单元厂家, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
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