耗材

光刻掩膜板

菲林掩膜板适用于制备线条宽度较大的结构，通常在20微米以上。这种掩膜板制备简单，适合制备相对宽大和较粗糙的图案。然而，由于其分辨率有限，无法满足制备细致微结构的需求。因此，对于需要制备线条宽度大于20微米的简单结构，菲林掩膜板是一个合适的选择。

玻璃掩膜板适用于制备线条宽度小于20微米的精细结构，以及需要多层对准的情况。玻璃掩膜板的制备工艺更加复杂，但由于其高分辨率，能够实现更细致、更精que的微结构。特别是在需要制备复杂多层结构且对准精度要求较高的情况下，玻璃掩膜板具有明显优势。

在选择掩膜板类型时，应根据所需制备的图案特性、线条宽度以及对制备精度和复杂度的要求进行权衡。菲林掩膜板适用于相对简单的结构，而玻璃掩膜板则更适合制备更细致和复杂的微结构。综合考虑制备目标和技术要求，选择适当的掩膜板类型将有助于确保制备过程的成功和效率。

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桌面光刻机

曝光光源：紫外LED光源波长：365nm;曝光面积：4英寸、6英寸可选；曝光方式：单面接触式定时曝光；曝光分辨率：2um；曝光强度：20~200mW/cm2可调；曝光不均匀性：≤5%；光源平行性：≤2°；光源寿命：≥20000h；电源输入：AC220V±10V，50HZ功率：250W重量：25kg外形尺寸：382（长）*371（宽）*435（高）工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %

光刻胶SU-8是一种常用的负性光刻胶，通常由环氧树脂和光敏剂组成，SU8光刻机，它具有许多优点，使其在制备微结构和器件方面成为理想的选择：

高分辨率：SU-8光刻胶具有出色的分辨率，可以制备细致的微结构，适合制作小尺寸线条和微细图案。

粘附性强：SU-8光刻胶在许多基片表面具有良好的粘附性，SU8光刻机设计，可以在不同材料上制备微结构。

厚度可调：SU-8光刻胶可以通过多次涂覆和光刻来控制厚度，SU8光刻机性能，适用于制备不同厚度的微结构。

化学稳定性：SU-8光刻胶具有较高的化学稳定性，可以耐受许多溶剂和化学物质，SU8光刻机优点，适用于各种应用环境。

热稳定性：SU-8光刻胶在高温下具有较好的稳定性，适用于需要高温处理的制备过程。

多层光刻：SU-8光刻胶可用于多层光刻制备，能够实现更复杂的微结构和器件。

应用广泛：SU-8光刻胶在微流体器件、生物芯片、MEMS、光学器件等多个领域中得到广泛应用。

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