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硫在氟气流中燃烧,相门区六氟化硫,生成的产物凝聚在冷阱中。随后进行纯化,使产物气化并通过10%的KOH热溶液(不用NaOH)洗涤除去其中的杂质(HF,SF2,六氟化硫生产商,SF4,SOF2,S2F10)。然后用P4O10干燥产物气体,并在室温下通过活性炭除去S2F10。3、使SO2在过量的F2中燃烧可生成SF6。反应温度约650℃,产物在冷阱中凝聚,其中除SF6外主要杂质是SO2F2。纯化时将其通过装有水和热的10%KOH溶液的洗涤瓶,后用P4O10干燥。
法 将硫磺或其他硫化物在和二存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。与氟燃烧法。联产法 氯氟代和六氟化硫联产,氟化碳(COF2)与六氟化硫联产。 [3] 作用用途编辑1、新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体,六氟化硫气体,被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术领域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
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