湖北质量流量计-科仪创新技术有限公司(图)-质量流量计原理





质量流量计产品对使用气体的要求

要求气体必须洁净且没有颗粒物,没有液体。建议客户在上游气路中安装<30um的过滤器和干燥剂。输入的气体压力必须符合产品的耐压标准,不能超过该产品要求的较大压力,也不能低于流量控制的较低要求。用户有责任按照相关安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,质量流量计公司,由于不正确的使用所导致的损害本公司不承担任何责任。稳压电源必须按照要求配置,否则由此造成的损失本公司不承担。气路的连接,必须仔细的安装密封管件,确保所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。




质量流量计产品特点

产品特点,本产品集成触摸显示屏,湖北质量流量计,可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等,操作方便,实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。




质量流量计

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿),质量流量计原理,将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器,放大后的值和通过显示屏设置的流量值进行比较,用比较值控制调节阀开度,本设备从比较到控制的时间非常短,满足了及时性和准确性的要求。本设计对产品的安装角度和位置不敏感,质量流量计原理,无需反复校准调零,

本设备可以通过触摸屏设置气体总量,在设定流量下通过时间参数自动计算气体总量,当气体总量达到设定值时,调节阀立即关闭。

本设备可以通过触摸屏设置气体种类,气体的种类必须和所测气体一致,每一种气体的各项性能不尽相同,选对气体种类是进行流量和总量控制的前提。




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