如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,激光气体价目表,可称为第三代激光。中性原子激光中,常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著,所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guiding beam)。其的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地),激光气体,使它广用于扫描读码设备及全像等。常用的激光焊接保护气体主要有N2、Ar、He,其物化性质各有差异,也因此对焊缝的作用效果也各不相同。
气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。准分子(Excimer)激光:准分子一词的本意,是「两个同种原子组成,而只存在于受激态的分子」,如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等;其英文原名为 Excited Dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽,以包含「不存在于基态,激光气体定制,只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。
激光切割机用的激光混合气体,二维激光切割机床用的四元激光混合气体,主要用于钢材的钣金加工。激光切割机所用气体的种类和作用:1)空气:①作为切割气体使用 ②作为冷却切使用 ③作为光路内部除尘使用(保护镜片延长镜片的使用时间)2)普氧:作为切割碳钢的气体(助燃性)纯度99.5%3)纯氮:作为切割不锈钢的气体(冷却性)纯度99.9%(切割碳钢速度为3/4) 4)高纯氮:作为激光器的使用气体,纯度:99.999%5)高纯氦:作为激光器的使用气体,纯度:99.999%6)高纯二氧化碳:作为激光器的使用气体,纯度:99.999% ;Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金属的蒸汽,都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中,常混入低压力的惰性气体,以提高放电效率。
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