工业气体在使用上需要注意哪些事项

在使用一氧i化碳气体检测仪的时候要注意事项：

1、检查气体流量、通常为30/h，流量过大或者过小对分析仪结果影响较大

2、更换滤纸：停抽气泵，过滤罐排水

3、检查气路系统中有无漏气现象。抽泣泵膜片有无破损，取样探头密封圈是否破i裂，四通阀、冷凝汽是否损坏等

4、取样探头清洗，取样孔管路疏通

5、检查冷凝器工作是否正常，通常温度调整在3摄氏度范围内

6、检查测量器室看是否脏污，及时清洗。

1、气瓶安全附件完好齐全（包括橡皮圈、安全帽、压力表、阻火器、减压阀、易熔塞） ， 胶皮软管必须完好无老化破损情况，与气瓶接口处应用卡子固定，以防滑脱。 2、氧气、乙i炔不能混合存放（二者应隔开或隔离放置，隔开距离 2 米以上） ，使用时距离 5 米以上，气瓶不可放置在距明火、高温部位较近的地方（距离 15 米以上） ，放置场所应阴 凉通风，并有防倾倒措施。 3、工业气瓶在搬运过程中，严禁在地上滚动，应用手旋转平移。装车时，气体管道安装哪家好，气瓶应该方向一 致，捆扎牢固。运输必须用危化车辆。氧气、乙i炔严禁混装运输。 4、在上部有动火和高温天气使用气瓶时，应用不燃物体遮盖，高温天气不能在阳光下长时 间曝晒，气瓶使用完毕后，须拆下减压阀、胶皮软管等设施，并戴上安全帽，然后按第 2 条要求放置。 5、乙i炔气瓶在使用时严禁平放在地上。 6、氧气瓶在储存使用过程中严禁接触油脂。 7、切割、焊接作业前，应清理周围易i燃物，以防引燃。 8、动火作业现场应设专人监护，并配置相应的消防灭火设施，如灭火器、水等。 9、存放（或存放过）易i燃易i爆危险品的容器、管线设备不能直接进行动火作业，应进行相 应处理或采用其他安全措施，确认安全后再进行动火作业。 10、在具有一定危险性的场所动火作业，用火单位应使用“用火许可证” ，在落实安全措施 后经负责人审批再进行施工。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，气体管道安装价格，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，气体管道安装生产商，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，新疆气体管道安装，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

3.金属管道的连接

(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如GaAs的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

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