真空气氛炉传热方式介绍
1.对流是指由于流体各部分的相对位移引起的热传递,当流体通过一个物体的表面时发生的热交换称为对流传热,包括物体表面附近的层状传导过程和层流外的对流过程,以及由层流引起的对流。温度和流体本身的密度,自然流动和流体与表面之间的传热称为“自然对流传热”由添加各种机械力引起的流动称为“强制流动”,流体与表面之间的热传递称为“强制对流”。
2.辐射是一种通过电磁波传播热能的过程,辐射传热不仅具有能量传递,还具有能量形式的转换,即热能转换为辐射能量,辐射能量被吸收并转换成热能。
在实际工作中,真空气氛炉等炉型可以看出,传热过程很少是单一的传热方式,大多数情况下两种或三种模式的组合同时进行。
真空气氛炉使用步骤:
1.开机械泵,开真空阀,抽真空至真空压力表达到-0.1mPa后关闭真空阀。
2.开保护气体减压阀,开真空阀,对炉膛充气,使真空压力表回至“0”后,关闭真空阀。
3.重复步骤①和②三次,使炉膛内的空气被排尽。
4.关机械泵。对炉膛充气使真空压力表回至“0”后,打开放气阀,调节微调阀,使气体流量稳定,出气端水泡连续。
5.对炉膛进行加温,应按“调节仪”进行,高温真空气氛炉,结合实验工艺要求操作。
6.实验结束,炉子温度降至实验工艺要求范围后,先关闭放气阀,在关闭真空阀,关微调阀和气体减压阀。
7.关闭总电源、循环水。
、处理HF时,请戴手套,不锈钢气氛炉,如不小心碰到HF时,请立刻冲水,用葡萄酸钙加2%之水,揉擦伤处15'。
长短推杆之前端,在还没使用到时,请朝上以免污染。
晶片进出炉口时,承接boat的holder,气氛炉,请勿碰触炉管口,以免污染炉管。
石英玻璃制品请小心使用,以免,引起严重割伤。
避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
破晶片、滤纸、棉花棒等,请勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板渍水。
要做好日常的保养工作。如清理炉膛残留杂物等。
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