影响标准气体量值稳定的因素：

1、气瓶和阀门材料 在气体充装前， 要充分考虑到气体各组分与气瓶材料， 阀门及密封材料的相容性， 作为标准气体的包装容器， 碳钢，铝合金材料已被广泛应用。不同浓度，标准气体，不同组分的标准气体是否和气瓶材料或阀门材料相容， 直接影响到标准气体的质量。如氟i化氢，氯i化氢，氟i气，氯i气， 氯甲i烷，张家港气体，氯乙i烷，CH3-Br等与铝产生反应， 不能用铝合金气瓶直接盛装。一定浓度的腐蚀性气体不能选择铜阀而需要选择不锈钢阀。

2、气瓶处理方法 用于盛装标准气体的气瓶， 内表面需进行常规处理和特殊处理， 以保证标准气体量值的稳定。处理方法包括加热除去气瓶内的水分， 抽真空置换除去空气及其他杂质气体， 内表面涂层使气瓶内表面减少与组份气体的物理吸附或化学反应；内表面钝化使气瓶内表面具有好的惰性，氮气， 有利于活泼性气体混合物的量值稳定。对于微量活泼性气体， 正确地选择气瓶处理方法是制备标准气体的关键。

3、组成混合气体各组份原料气的纯度及杂质。除了材料相容性和进行适当的气瓶处理外， 原材料的纯度是另一个值得注意的问题、如果原料中含有和配制组份相同的杂质， 杂质的准确定量就直接影响到组分的量值、如制备氮气为背景气的1ppm二氧化碳标准气体， 除了要知道组分气的纯度外，还要知道高纯氮气中CO2的含量。这样才能给出CO2的准确量值。

液态混合物的潜在危险

除了遵从和气态混合物同样的规则，还应考虑：

1、充装不能超量；

2、确认气瓶中无余量；

3、电子秤要校准；

4、虹吸管的材质和充装的成分要相容。

生产过程中环境气体的监测

由于标准气体品种繁多，成分复杂，易i燃易i爆和有毒有害气体的泄漏，都可能产生事故，因此室内安装报警器是实现安全生产的必要条件，安全生产，预防为主。

总之，在标准气体制备过程中，必须对制备的标准气体进行研究，制定合理的充装工艺和安全操作程序，提供必要的安全生产条件，特种气体生产商，将安全生产放在首位，减少人身伤害和财产损失，这样才能创造和谐的社会环境。

其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。

　　在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。

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