真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，高压柜氦检漏系统，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，板式换热器氦检漏系统，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，环保柜氦检漏系统，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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发电机氢气系统

氢系统氢气纯度、压力、湿度，除设有防爆型就地指示和报警装置外，还应设置输出模拟量到远方DCS显示参数及报警输出接点。

发电机冷氢温度高不超过49.5℃。氢冷却器冷却水设计温度为38℃。

氢气纯度不低于95％时，不影响发电机的保证出力。当计算和测定发电机效率时的基准氢气的纯度应为98％。

发电机机壳和端盖，能承受压力为2倍额定氢压时历时15分钟的水压试验，以保证运行时内部氢爆不危及人身安全。

采用闭式循环冷却水系统，水源为化学除盐水，氢气冷却器水侧设计压力为1.0MPa，试验水压为1.5MPa。但供给氢气冷却器的水压不得高于0.4MPa。

氢气冷却器的设计能在一个冷却器因故停止使用时，至少能承担发电机80%额定容量连续运行，且发电机不超过允许温升。

真空设备检漏

北京科仪真空技术有限公司（简称：科仪）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。科仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。

如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下：

在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率）。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，

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