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普发Pfeiffer Splitflow 80分子泵常见故障：

抽速慢、卡死、电流偏大、噪音大、达不到全速运转

普发Pfeiffer Splitflow 80分子泵实物图：


普发Pfeiffer Splitflow 80分子泵对应的控制器为： Pfeiffer TC110

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