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⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

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气体捕集泵这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，BECKER润滑脂机油，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。

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通过螺母套7带动壳体1作往复运动。活塞2与柱塞3固定在支架4上。当壳体1向左运动时，活塞缸右腔容积减小，向系统排出压力油，此时柱塞缸腔容积增大，从油箱中吸油。当壳体1向右运动时，活塞缸右腔容积增大，德国贝克BECKER润滑脂机油，从油箱中吸油，此时柱塞缸腔容积减小，向系统排出压力油

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