氦质谱检漏仪：

1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。

2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。

3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。

氮气和氢气的混合气的用途

电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，高压柜氦检漏系统，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，大多数质量较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，供应上较严重，故成本也较高。

氢气的应用场合

氢气，化学式为H?，分子量为2.01588，常温常压下，是一种极烧的气体。

氢气是世界上已知的密度小的气体，氢气的密度只有空气的1/14，即在1标准大气压和0℃，氢气的密度为0.089g/L。工业上一般从或水煤气制氢气，而不采用高耗能的电解水的方法。

氢气一般出现在1.做还原气：金属加工。2.做保护气：金属加工。3.做燃料气：电子行业、玻璃行业。4.做冷却介质：电厂。5.做为化工介质：油脂加氢。6.做燃料用：液氢、航天、航海等。7.焊接行业。8.医院。

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