氦质谱检漏仪
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氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是:检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在导1弹武1器装备中也离不开检漏，导1弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏，本文主要真对氦质谱检漏原理及方法进行综述。
什么是氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪品牌浅析什么是氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪可靠的广泛的市场应用，此款氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能极强，可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。氦质谱检漏仪主要特点：前级泵配备抽速高达15 m3/h 旋片泵，对氦气抽速可达 2.5l/s，氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的蕞小检测漏率：
真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s
吸的模式：5 · 10-10 Pa m3/s
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氦质谱检漏仪
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。
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