风淋室：

    风淋室是人进入洁净室所必需的通道，它可以减少人进出洁净室所带来的污染问题，减少由于人/货进出带来的大量尘埃粒子由洁净室的入口处安装功能齐全的“气闸室”可以减少空气污染微粒的数量，当人/货通过风淋室时，污染微粒被经过过滤的高度洁净空气射掉，25m/s以上的高风速确保了有效的喷射和飘移微粒经过初效和两级过滤器基本过滤掉。

    1、目的：

    保持风淋的安全使用，维持洁净室环境的洁净度。

    2、风淋室的使用：

（1）进入洁净无尘室的人员应在外更衣室脱去外衣，除下手表、手机、饰品等物品。

（2）进入内更衣室，穿戴净化无尘衣、帽、口罩、手套。

（3）拉开不锈钢风淋门人员进入风淋室后，风淋门立即自动关闭外门，红外线（声控/人体热能）感应，风淋自动启动，吹淋15秒（出厂已设置）。注意：风淋室在吹淋时两个不锈钢门不能同时打开，如强行打开将损坏电子锁，风淋室两门是电子互锁控制。

（4）风淋室吹淋结束后，推开出门进入洁净无尘室。

洁净室中的温湿度控制：

    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，净化空调施工，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

    具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，净化空调安装，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，济源净化空调，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

    湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，净化空调设计，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。

    无尘洁净棚净化级别的选择：

    比较多的客户，会选用千级无尘洁净棚，或万级无尘洁净棚，少量客户会选用百级或万级。总之，无尘洁净棚级别的选择在于客户对洁净度的需要而定，但因无尘洁净棚比较密闭，如选择洁净棚级别比较低时，往往会带来部分副的作用：冷量不足，员工在无尘洁净棚内会感觉比较闷热，所以实际在和客户的沟通过程中，需要注意这点。

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