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搭配Probe card测试适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品电动型chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金)X,Y电动移动行程300mm x 300mmchuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数8~12颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“材质:花岗岩台面+不锈钢可搭配Probe card测试
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在本发明中,推荐的,所述通道切换单元包括若干结构相同的通道切换电路,所述通道切换电路包括与所述通道数量相对应的继电器,所述继电器与所述扫描CPLD连接。[0014]在本发明中,进一步的,所述DDS合成单元包括数字频率合成器U501,所述数字频率合成器U501的输入引脚与所述测量CPLD连接,所述数字频率合成器U501的输出引脚与所述滤波电路连接。多路LCR测试机厂家
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