广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵控制器烧坏Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

   真空泵的传动方式：

      真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 SplitFlow 优点

紧凑设计， 占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和更高压缩比

集成分子泵控制器

防护类型 IP 54 适合于工业用途

准 S2 和 UL/CSA 认证

运行数据监控保证分子泵运行安全性

电机烧坏

主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

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广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵控制器烧坏涡轮分子泵定期保养

定期保养

油旋片泵的泵油起到润滑、密封和冷却的作用，工艺气体中的粉尘，泵运转时磨损下来的金属碎屑会进入到泵油当中，未成功排出的可凝蒸汽也会在冷凝后混合在泵油内，到达一定程度，就会带来泵油变色、乳化、润滑性能下降，所以需要定期更换泵油，普发分子泵控制器烧坏，有些旋片泵配置了专门的油过滤器，在更换泵油时也要一并更换。更换泵油的频率取决于实际的工艺和泵油的种类，一般建议每半年到1年要更换一次。

涡轮分子泵特点

抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围:清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空

极限真空:10/ 10torr

缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高

有大量粉尘的应用一定要加装粉尘过滤器

在粉尘量较大的应用中，应加装进气口粉尘过滤器，以防止粉尘吸入。否则，大量的粉尘进入泵腔，将造成泵腔严重磨损，使整台泵失去维修价值。

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广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵控制器烧坏涡旋分子泵

真空系统常用名称

①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

Pfeiffer HiPace 80德国普发涡轮分子泵维修，Pfeiffer HiPace  80抽速可达到67 L/s紧凑有力的涡轮分子泵。紧凑设计适合广泛应用。高抽速和*大压缩比。集成驱动电路，适用于工业环境，通过保护等级IP54、半导体S2、UL / CSA认证。通过分子泵控制器，监控运算元据保证分子泵的*大可靠性。理想可靠的集成系统，可以安装在任何位置。

变容真空泵

利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：

（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。

广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵控制器烧坏 涡旋分子泵

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