氮气和氢气的混合气的用途

电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，大多数质量较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，供应上较严重，故成本也较高。

真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，氦检漏设备，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，真空箱式氦检漏设备，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，包膜式氦检漏设备，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氢气检漏设备

（1）检漏仪：采用上述工作原理制造的氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与氦检相同水平。（2）示踪气体充注控制器：对于批量生产的用户，好采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作，可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。

氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的（ISO10156），无毒性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素，有着很多的优点。

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