广州潽拓光电科技有限公司——varian分子泵瓦里安分子泵养护
涡轮分子泵抽气系统。涡轮分子泵可以串联干式机械泵组成无油超高真空系统,不烘烤可以实现10-6Pa的真空度,经烘烤可以达到10-8Pa的真空度。如果串联扩散泵作为前级泵,降低前级管道中的氢分压,配合钛升华阱可以获得高于10-9Pa以上的真空度。由于涡轮分子泵内表面积大,因此烘烤除气是非常必要的,但烘烤温度一般只允许到100℃左右。瓦里安分子泵养护
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,varian分子泵维修,以满足不同场合的需要。
螺杆真空泵运行,除了要确保正确的操作方法,以及定期的维护保养外,还要做好润滑工作,定期为其添加或者更换润滑油。但是在换油之后有几个常见的问题要跟大家说一下。
一、进气口长时间抽大气,应加以避免。
二、真空度偏低:
1、螺杆真空泵腔内及油中是否混入其它轻质液体,新换油后应适当运转一段时间。
2、检查各密封部分是否有漏气现象,校对好检测仪表。瓦里安分子泵养护
三、出气口有雾现象:检查进气口及其它部分是否有漏气。
四、出气口有喷油现象:油加的过多,减少油的加入量,进气口长时间抽大气,应加以避免。
以上这几个就是螺杆真空泵在换油之后常见的几种问题,增城varian分子泵,用户应尽量避免。如果遇到问题,也不要慌,可以参照以上方法来进行调整处理,及时解决。瓦里安分子泵养护
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广州潽拓光电科技有限公司——varian分子泵进口真空泵维修
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停止或启动时发出巨大噪音
原因:电机供电电压不足;电机缺相运行;泵长期未使用,造成腐蚀;泵吸收杂质;叶轮拉动分配板。
故障排除:检查电源电压是否过低;检查电机接线是否牢固;如果泵长时间不使用,可以添加除锈剂或打开泵盖进行除锈;打开泵盖清除杂质;调整叶轮和分配板之间的距离。进口真空泵维修
在分子流动范围内(即在压力低于 10-3毫巴 (0.75 x 10-3Torr)) 气体分子的平均自由程大于转子和定子叶片之间的间距(通常为零点几毫米)。进口真空泵维修,相应地,分子主要与光学致密的转子叶片碰撞,从而产生高*的泵送作用。在层流(恒定)流量范围内(即压力超过 10-1毫巴 (0.75 x 10-1Torr))转子的效果因分子本身之间的频繁碰撞而受损。
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轴承
主轴轴承对泵的使用寿命至关重要。逐渐磨损可能使轴的位置发生轻微的变化,直到螺钉或转子之间,或叶轮和泵壳之间发生摩擦。这将导致光斑发热,可以通过触摸检测到。轴承突然失效通常更为严重。由于叶轮轴组件不再有支撑和正确的位置,在轴承失效后,很可能立即发生对壳体和齿轮的广泛的一般损坏。磨损的迹象是过度或异常的噪音,过热的轴承,或过热的套管由旋转叶轮与套管内部接触引起的摩擦。瓦里安分子泵电源维修
二、更换油和密封件
分子泵的油和密封件也是保养的重要部分。油的质量和密封件的状态会直接影响分子泵的性能和寿命。因此,定期更换油和密封件是非常必要的。瓦里安分子泵电源维修
更换油时,需要先将泵内的油排出,然后用清洁剂和软布擦拭泵内壁和叶轮。然后再加入新的油,确保油面高度正常。更换密封件时,需要先将泵内的油排出,然后拆下密封件,varian分子泵维修要多少钱,清洗并更换新的密封件。注意更换密封件时,需要按照厂家的要求进行操作,以免影响泵的性能和寿命。瓦里安分子泵电源维修
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