重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF， KrF， XeF， KrCl， XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。20W机型可发生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可见光波长分别是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。蓝绿光波段中，强而常用的是514.5及488 nm。氪离子激光可发生337.4至799.3 nm，激光气体价格多少，强的是647.1 nm，其次为413.1及530.9 nm。产品中，有将氩气与氪气混合的机型。

气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。 激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，激光气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，激光气体价格，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。

目元激光混合气体的方案组成比例：CO:4%，CO2：8%，激光气体厂家价格，He:28%，N2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到的输出功率，并且切割钢板厚度达到25mm，还可以更好的保证工件质量。中性原子激光与离子气体激光的差别，在于前者的激光光来自中性原子能阶之间的跃迁，后者是离子的能阶( 如Ar+，Kr+ )间之跃迁。因此，氩激光(Argon laser)与氩离子激光(Argon ion laser)并不相同，前者的激光光波长属于红外线波段，后者则在可见光和紫外线区。激光切割机用的激光混合气体，二维激光切割机床用的四元激光混合气体，主要用于钢材的钣金加工。

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