关于实验室无尘车间的分类：层流式——层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风的，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，多晶硅净化工程价格，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，净化工程价格，不易为作业状态或作业人员所影响。复合式——复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

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空气风淋室安装时，根据设计的坐标位置或土建施工预留的位置进行就位；设备的地面应水平、平整，在设备的底部与地面接触的平面，应根据设计要求垫隔振层，使设备保持纵向垂直、横向水平；设备的机械、电气连锁装置应处于正常状态，风机与电加热、内外门及内门与外门的连锁等；设备与围护结构连接的接缝，应配合土建施工做好密封处理。

净化工程车间的注意要点有哪些？净化工程车间是指控制产品（例如硅片）接触的大气的清洁度以及温度和湿度，以便可以在良好的环境空间中生产和制造产品。这个环境空间的设计和建造过程可以称为净化项目。净化工程车间的净化原理：气流→初效净化→加湿段→加热段→工作台冷却段→中效净化→风机供气→管道→高效净化出风口→吹入室内→带走尘埃和其他颗粒→回风百叶窗→初步净化，重复以上过程，即可达到净化目的。

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