扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

进水管的进水口方位不对①进水管的进水口离进水池底和池壁间隔小于进水口直径。若是池底有泥沙等污物时，进水口离池底的间隔小于直径的1.5倍时，会形成抽水时进水不畅或吸进泥沙杂物，阻塞进水口。②进水管的进水口入水深度不行时，这样会引起进水管周围水面发生漩涡，影响进水，削减出水量。正确的装置办法是：中小型水真空泵入水深度不得小于300～600mm，大型水真空泵不得小于600～1000mm。

旋转真空泵又有如下几种形式：① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。