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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司





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真空泵每运行3000小时后应拆卸检查一次。对于真空泵,应检查叶片是否有裂纹或过度磨损,必要时应更换叶片。当需要更换时,应始终作为一套更换。扩散泵应检查喷嘴的污染和内部表面沉积的积聚。varian TV 902分子泵维修,检查后,内部必须*底清洗,因为即使指纹也会排出气体,导致工艺污染。清洗扩散泵的常见工业做法是使用*酮,然后用异*醇漂洗清洗泵内部部件(例如,泵体,射流组件)。干螺杆泵、爪泵和罗茨鼓风机应检查螺杆或转子的磨损和转子之间的间隙过大。当转子需要更换时,必须成对更换。如果您的内部维护人员没有*业知识或时间进行内部检查,可以外包给泵制造商或第三方服务提供商。varian TV 902分子泵维修



清洁分子泵

分子泵的清洁是保养的重要一环。在使用过程中,瓦里安涡轮分子泵公司,分子泵内部会积累一些灰尘和杂质,这些杂质会影响分子泵的性能和寿命。因此,定期清洁分子泵是非常必要的。varian TV 902分子泵维修



清洁分子泵时,需要先将泵内的油和杂质排出,然后用清洁剂和软布擦拭泵内壁和叶轮。注意不要使用硬物或金属刷子,以免刮伤泵内壁和叶轮。清洁完毕后,再将泵内的油加入,确保泵内油面高度正常。varian TV 902分子泵维修

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氦质谱检漏仪分子泵故障及处理

1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作

有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有:真空规管是否有问题,分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏或机械泵是否转动,系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害,可自行用工具拨动叶片,判断其能否转动。


分子泵加速指示灯不亮

电路板上的保险丝烧断,更换保险丝或检查是否有短路现象。

分子泵故障灯亮

检查电路板设置开关是否处于R位置,此时应该在N位置。检查风扇是否停止,如风扇正常,则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。

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低温泵抽气系统。低温泵抽气系统用低温泵作为主泵,并联或串联分子筛吸附泵,也可以用机械泵作为预抽真空泵,但若是油封机械泵就必须在机械泵的入口管路上设置油蒸气捕集器。低温泵抽气系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片以及自身带来的气体污染,是一种清洁的抽气手段。20K的低温泵可以得到10-8Pa的真空度,4.2K的低温泵可以得到10-10~10-12Pa的真空度。varian瓦里安分子泵维修费用


高通量 Agilent Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵是一种专*真空泵系统,抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计,尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化,能够在高温负载和极高*气流下工作。varian瓦里安分子泵维修费用

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