使用方法

该设备操作简单，微流控光刻机企业，易于上手，具体操作如下：

一、曝光前准备工作

1、硅片处理：确保待曝光硅片经过匀胶处理，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。

2、选择光刻板：根据项目需要，微流控光刻机设计，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。

3、设备检查：仔细检查设备，确保所有部件处于正常工作状态，确保操作环境良好。

二、曝光操作步骤

1、安装硅片：将待曝光硅片平放在设备的载台上，确保位置准确。

2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。

3、设定曝光参数：使用控制面板设置曝光时间和强度，根据具体需求进行调整。

前烘

1）将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，浙江微流控光刻机，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，微流控光刻机，烘烤15分钟）

曝光

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行曝光，曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置曝光能量25mw/cm2，时间12s）

后烘

将曝光后的硅片放置在热板上，进行后曝光烘烤，以确保光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未曝光部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

清洗

将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

检查

使用显微镜检查制备的SU-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和质量。

注射泵是一种可以jing确控制液体流量的设备，因此在微流控领域有广泛的应用。微流控技术是一种利用微型通道和微型结构进行流体控制和分析的技术，主要应用于生物医学、化学和材料科学等领域。以下是注射泵在微流控领域中的应用：

1.病原体检测：注射泵可以用于微流控芯片中进行液体的输送，从而实现病原体的检测。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地混合样品和试剂，从而实现病原体的分离和检测。

2.药物筛选：注射泵可以用于微流控芯片中进行药物的输送和分配。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地混合药物和细胞，从而实现对药物的筛选和评估。

3.细胞培养：注射泵可以用于微流控芯片中进行细胞培养。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送细胞培养基和营养物质，从而实现对细胞的培养和研究。

4.DNA分离和分析：注射泵可以用于微流控芯片中进行DNA的分离和分析。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送DNA样品和试剂，从而实现对DNA的分离和分析。

5.蛋白质分析：注射泵可以用于微流控芯片中进行蛋白质的分析。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送蛋白质样品和试剂，从而实现对蛋白质的分离和分析。

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