扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀，但由于其本身具有许多的优点，发展速度是很快的。 

1 仪器分辨率较高，通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节，采用LaB6电子，可以进一步提高到3nm。 

2 仪器放大倍数变化范围大，且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察，同时在高放大倍数下也可获得一般透射电镜较难达到的高亮度的清晰图像。

所以反映在电镜图像上，改变焦距的时候会出现两个严重的拉伸，拉伸方向可能因样品而不同，但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置，基本固定焦距。然后在此焦距下，进行消像散线圈的调节，先调X或Y中的一个维度，待图像达到清楚后再调节另一个维度。

有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，绒毡层超微结构检测服务，比如孔洞或者颗粒，或者样品边缘，都可以轻易的进行判断。尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。

早期电镜中曾采用过机械式消像散器，利用手动机械装置来调整电磁透镜周围的小磁铁 组成的消像散器，来改变透镜磁场分布的缺陷。但由于调整的性和使用的方便性均难令人满意，这种方式已被淘汰。消像散器由围绕光轴对称环状均匀分布的8个小电磁线圈构成，用以消除（或减小）电磁透镜因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4个互相垂直的线圈为1组，在任一直径方向上的2个线圈产生的磁场方向相反，用2组控制电路来分别调节这2组线圈中的直流电流的大小和方向，即能产生1个强度和方向可变的合成磁场，以补偿透镜中所原有的不均匀磁场缺陷（图中椭圆形实线），以达到消除或降低轴上像散的效果。



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