山东亚世特工业清洗设备有限公司
喷淋塔主要工作原理就是:酸性气体从塔体下方进气口沿切向进入净化塔,在通 风机的动力作用下,郑州单工位旋转喷淋清洗机,迅速充满进气段空间,然后均匀地通过均流段上升到一层填料吸 收段。在填料的表面上,气相中酸性物质与液相中碱性物质发生化学反应。反应生成 物油(多数为可溶性盐类)随吸收液流入下部贮液槽。未全吸收的酸性气体继续上 升进入一层喷淋段。在喷淋段中吸收液从均布的喷嘴高速喷出,形成无数细小雾滴与 气体充分混合、接触、继续发生化学反应。然后酸性气体上升到二层填料段、喷淋段 进行与一层类似的吸收过程。二层与一层喷嘴密度不同,喷液压力不同,吸收酸性气 体浓度范围也有所不同。在喷淋段及填料段两相接触的过程也是材热与传质的过程。 通过控制空塔流速与滞贮时间确保这一过程的充分与稳固。
此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,全自动单工位旋转喷淋清洗机定制,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
转动自喷清洗机介绍1.机器设备特性1.1本机器设备依据待洗零件类型多,总数少的特性,选用单工位式清洗、烘干的方法;1.2零件经人力手推式进到清洗室,布局在清洗腔房间内的自喷管对产品工件作大流量自喷,全自动单工位旋转喷淋清洗机,遮盖无盲点;1.3清洗选用持续喷洗式,清洗冲洗力强悍。此方式适用去除空气氧化膜或有机物。由于化合物在单晶硅片表面滞留的時间较为短,对反映必须一定時间的清洗实际效果不太好。在喷洗全过程中所应用的化学药品非常少,对操纵成本费及生态环境保护有益。伴随着集成电路芯片工艺加工工艺连接点愈来愈,对具体生产制造的好多个阶段也明确提出了新规定,清洗阶段的必要性日渐突显。清洗的至关重要则是因为伴随着特点规格的持续变小,半导体材料对杂质成分愈来愈比较敏感,而半导体设备中难以避免会导入一些顆粒、有机物、金属材料和金属氧化物等空气污染物。为了更好地降低杂质对处理芯片合格率的危害,具体生产制造中不仅必须提升 一次的清洗,还必须在基本上所有制性质程前后左右都经常的开展清洗,清洗流程约占总体流程的33%。
山东亚世特放心选购-郑州单工位旋转喷淋清洗机由山东亚世特工业清洗设备有限公司提供。山东亚世特工业清洗设备有限公司是从事“超声波清洗机,通过式喷淋清洗机,高压喷淋清洗机”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:吕经理。