控制洁净车间的全过程实质上就是围绕控制产尘和有效排尘两环节对微尘实施的的全控制。洁净车间的环境包括洁净车间的结构、墙壁材料、水系统、空调洁净系统等。经过验证的空调洁净系统, 在正常工作的情况下能满足洁净度的要求。空调洁净系统所形成的微尘分为两种:一种是系统运行客观上造成的微尘,半导体净化车间设计, 另一种则是控制因子未达标。
净化工程注意事项需记牢,净化工程有许多需要注意的事项,做好这些才能发挥净化的价值。
1.安全注意事项严厉无菌操作,避免微生物污染;操作人员进入无菌室应先关掉紫外灯。
2.无菌室应设有无菌操作间和缓冲间,无菌操作间洁净度应到达10000级,集成电路净化车间设计,室内温度坚持在20-24℃,湿度坚持在45-60%。超净台洁净度应到达100级。
3.无菌室应坚持清洗,禁止堆积杂物,净化车间设计,以防污染。谨防全部灭菌器件和培养基污染,已污染者应停止运用。
4.无菌室应定时用适合的消毒液灭菌清洗,以确保无菌室的洁净度符合要求。
5.需求带入无菌室运用的仪器,器械,平皿等全部物品,均应包扎紧密,多晶硅净化车间设计,并应通过适合的办法灭菌。
净化工程中空气净化处理方案:
●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚空气过滤器代空气过滤器。
●空气过滤器的选用布置和安装方式,应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;空气过滤器或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端,空气过滤的安装方式应简便可靠,宜检漏和更换;中效、亚、空气过滤器宜按额定风量选用;阻力、效率相近的空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
●确定集中或分散式净化空气调节系统时,应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时,位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室,宜采用集中式净化空气调节系统。
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