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20世纪80年代，原来从事变压吸附制氧装备研制单位的开发项目相继中止，中国变压吸附制氧技术的开发再次进入低谷。1995年，昆山锦沪机械有限公司在河南洛阳钢铁厂建成VPSAO1000Nm3/h制氧机，标志着变压吸附在中国正式进入工业领域，呼吸机，也标志着变压吸附在中国进入高速发展时期。

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分子筛制氧机采用的PSA（变压吸附）空气分离制氧技术，是基于吸引剂（沸石分子筛）对空气中氧、氮吸附能力的差异来实现氧、氮的分离，可以直接从空气中提取高纯度氧气，是具有和的制氧机。

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