x射线发生装置-涂层应用

现代生活的每个环节都得益于涂层或薄膜技术。无论是集成电路芯片上的阻挡层薄膜还是铝制饮料罐上的涂层，X射线是研发，产品过程控制和不可缺少的分析技术。作为纳米技术研究，X射线衍射(XRD)和附属技术被用于确定薄膜分子结构的性质。理学的技术和经验为涂层和薄膜测量提供各种无损分析解决方案。

x射线发生装置角度校准的光学新方法

目前x射线发生装置的角度检定和校准测试主要依据JJG 629—1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400—2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件，具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试，该测量方法实际应用中存在一定难度，其次测量间隔较大，不能很好反映真实的角度误差规律.为此，提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点，组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器，设计了一种新的XRD的角度校准方法，它能够自动快速地连续测量角度，中能x射线发生装置，取k=2时，扩展不确定度约1.2″.使用该方法测试能够得到θ和2θ轴的误差数据，可用于修正XRD测角误差，中能x射线发生装置价格，提高XRD测试精度.该方法也适用于同步辐射等大型衍射系统等其他需要角度校准的情况.

x射线发生装置解决哪些问题？

（1）当材料由多种结晶成分组成，需区分各成分所占比例，可使用XRD物相鉴定功能，分析各结晶相的比例。

（2）很多材料的性能由结晶程度决定，可使用XRD结晶度分析，确定材料的结晶程度。

（3）新材料开发需要充分了解材料的晶格参数，中能x射线发生装置供应商，使用XRD可快捷测试出点阵参数，为新材料开发应用提供性能验证指标。

（4）产品在使用过程中出现断裂、变形等失效现象，中能x射线发生装置厂家，可能涉及微观应力方面影响，使用XRD可以快捷测定微观应力。

（5）纳米材料由于颗粒细小，极易形成团粒，采用通常的粒度分析仪往往会给出错误的数据。采用X射线衍射线线宽法(谢乐法)可以测定纳米粒子的平均粒径。

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