通常我们可以对同一个标准样品连续测量50次，考察各个元素的RSD相对标准偏差来考证一个设备的性能。如果光谱仪的硬件技术不过关，仪器的稳定性是没法保证的。设备的灵敏度，也就是检测下限。通常很多厂家吹嘘仪器的检出限可以达到1ppm，EDX-6000D 能量色散X荧光测金仪，这其实都是销售人员的吹嘘。客户可以跟进自己手里的实际样品来检测设备在检测低含量样品时候的表现。比如可以测试塑料里面50ppm的Cl氯元素。

根据研究光谱方法的不同，习惯上把光谱学区分为发射光谱学、吸收光谱学与散射光谱学。这些不同种类的光谱学，从不同方面提供物质微观结构知识及不同的化学分析方法。发射光谱可以区分为三种不同类别的光谱：线状光谱、带状光谱和连续光谱。线状光谱主要产生于原子，带状光谱主要产生于分子，连续光谱则主要产生于白炽的固体或气体放电。现在观测到的原子发射的光谱线已有百万条了。




经典光谱仪器是建立在空间色散原理上的仪器；新型光谱仪器是建立在调制原理上的仪器。经典光谱仪器都是狭缝光谱仪器。调制光谱仪是非空间分光的，它采用圆孔进光。根据色散组件的分光原理，光谱仪器可分为：棱镜光谱仪，衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪。光学多道分析仪OMA (Optical Multi-channel Analyzer)是近十几年出现的采用光子探测器(CCD)和计算机控制的新型光谱分析仪器，它集信息采集，处理，存储诸功能于一体。




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