广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮涡轮泵，分子泵

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XDS 泵的设计极具创新性，爱德华磁悬浮涡轮泵维护，采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，使之不仅完全干燥，而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。

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